Τμήμα : Ηλεκτρολόγων Μηχανικών και Μηχανικών Υπολογιστών
Τομέας : Πληροφορικής
Κωδικός : ΜΙ3787
Εξάμηνο : 9ο
Ροή :
Η : Ηλεκτρονική - Κυκλώματα - Υλικά
Κατ' επιλογήν υποχρεωτικό.
Ώρες Θεωρίας : 2
Ώρες Εργαστηρίου : 1
ΔΕΠ :
Ι. Αβαριτσιώτης, Καθηγητής.
Περιεχόμενο του μαθήματος :
Το μάθημα αυτό αναφέρεται στην ποιοτική και ποσοτική περιγραφή και μελέτη των μεθόδων κατασκευής VLSI
ολοκληρωμένων κυκλωμάτων πυριτίου καθώς και τα μοντέλα των κατασκευαστικών διαδικασιών.
Αναλυτικότερα, περιγράφονται οι τεχνικές κατασκευής των μονοκρυστάλλων πυριτίου που χρησιμοποιούνται σαν
υπόβαθρα, το φαινόμενο της θερμικής οξείδωσης, η λιθογραφία και χάραξη, οι τεχνικές εισαγωγής
προσμείξεων με θερμική διάχυση και ιοντική εμφύτευση, οι τεχνικές εναπόθεσης λεπτών στρωμάτων αγωγών,
ημιαγωγών και μονωτικών υλικών τόσο σε πολυκρυσταλλική μορφή όσο και σε επιτάξια.
Στην ακολουθούσα ολοκλήρωση των κατασκευαστικών τεχνικών, για την κατασκευή κυκλωμάτων VLSI,
περιγράφονται οι διάφορες τεχνικές ηλεκτρικής απομόνωσης (όπως τάφροι και LOCOS) και οι κατασκευαστικές
ροές για τις επικρατέστερες τεχνολογίες όπως η MOS, CMOS και bipolar. Επίσης εξάγονται οι κανόνες
σχεδίασης που αποτελούν τον τεχνικό φάκελο των πακέτων CAD σχεδίασης κυκλωμάτων VLSI, για κάθε μια
από τις προαναφερθείσες κατασκευαστικές τεχνολογίες.
Η θεωρία συνοδεύεται από λυμένες ασκήσεις τόσο στο διδακτικό εγχειρίδιο όσο και από πίνακος.
Τέλος, στο εργαστήριο οι φοιτητές διδάσκονται τη χρήση του πακέτου λογισμικού SUPREM για την
προσομοίωση των κατασκευαστικών τεχνικών και ακολούθως παραδίδουν άσκηση.